• X、Y和Z轴的最大行程4mm;
• 挠性设计,确保平滑连续运动和长期稳定性;
• 顶板带凹槽,确保多轴位移台配件的对准;
• 紧凑尺寸:112.0mm*112.0mm,不包括驱动器;
• 采用SM13/SM25游标测微头,游标刻度理论精度0.01mm;
• 所有调节器都均接驳到共用的基部底座,将串扰降到最低;
• 模块化的设计允许拆卸和更换外置促动器;
• 适用于专业光纤耦合系统、光纤对准或波导定位系统;
我们的三轴Nano X3系列位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。所有驱动器都直接耦合在底部,将系统中运动串扰降到最低。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动,摩擦可以忽略。我们提供内置压电驱动版本。
手动三轴挠性位移台 |
|||
型号 |
Nano X3-MA |
Nano X3-MB |
|
调节器 |
SM13 |
SM25 |
|
可调行程 |
4mm |
||
进给量 |
500μm/转,使用游标刻度10µm为增量 |
||
重量 |
781.6g |
946.5g |
压电三轴挠性位移台 |
|
型号 |
Nano X3-MP |
可调行程 |
4mm(粗调); 20µm(压电驱动器) |
调节器 |
SM13游标测微头、压电驱动器 |
控制方式 |
开环 |
电压范围 |
0-75V |
理论分辨率 |
20nm |
双向重复性 |
200nm |
给进量 |
10μm/分度,500μm/转 |
重量 |
828.0g |