• 线性行程范围：25mm；
• 配置测微头：驱动螺距0.5mm，分度10μm；
• 配置差分尺：驱动螺距0.5mm，分度10μm；精调一圈42μm，精度＜1μm；
• 模块化设计便于将位移台组合成XY和XYZ配置；
TSX-LE系列位移台采用硬化不锈钢线性轴承，提供单轴线性运动用于平移应用。
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型号 |
TSX-LE-B |
TSX-LE-C |
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规格 |
189.0*76.2*20.3mm |
165.3*76.2*20.3mm |
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驱动方式 |
SM25测微头 |
DRP41-A差分调节器 |
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粗调行程 |
25mm，0.5mm/圈，分度10μm |
25mm，0.5mm/圈 |
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精调行程 |
/ |
230μm，≈42μm/圈，精度＜1μm |
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理论精度 |
10μm |
＜1μm |
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重量 |
426.3g |
434.2g |
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台面尺寸 |
101.6*76.2mm |
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行程范围 |
25mm |
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螺孔类型 |
上面板：M6*16处、M6*2处（沉头孔）；底面板：M6*2处（沉头孔） |
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材质 |
7075铝合金 |
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