广州基座光学科技有限公司_Nano X3系列三轴挠性位移台

产品说明

• X、Y和Z轴的最大行程4mm；

• 挠性设计，确保平滑连续运动和长期稳定性；

• 顶板带凹槽，确保多轴位移台配件的对准；

• 紧凑尺寸：112.0mm*112.0mm，不包括驱动器；

• 采用SM13/SM25游标测微头，游标刻度理论精度10μm；

• 采用DRP系列差分调节器，游标刻度理论精度＜1μm；所有调节器都均接驳到共用的基部底座，将串扰降到最低；

• 模块化的设计允许拆卸和更换外置促动器；

• 适用于专业光纤耦合系统、光纤对准或波导定位系统；

我们的三轴Nano X3系列位移台的模块化设计允许在任何时候拆卸和更换驱动器。所有驱动器都直接耦合在底部，将系统中运动串扰降到最低。平行挠性设计确保了精确、平滑、连续的运动，摩擦可以忽略。我们提供内置压电驱动版本。

手动三轴挠性位移台
型号	Nano X3-MA	Nano X3-MB	Nano X3-MC2	Nano X3-MD
调节器	SM13测微头	SM25测微头	DRP-C差分调节器	DRP51-C差分调节器
粗调进给量	500μm/圈	500μm/圈	500μm/圈	500μm/圈
精调进给量	/	/	230μm，≈42μm/圈	230μm，≈42μm/圈
理论精度	/	10μm	粗调10μm，精调＜1μm	粗调10μm，精调＜1μm
重量	781.6g	946.5g	879.1g	899.2g
规格	112.0112.062.5mm（不含驱动器）
顶板尺寸	60.0*60.0mm
可调行程	XYZ轴4mm
材质	7075铝合金

压电三轴挠性位移台
型号	Nano X3-MP
可调行程	4mm(粗调); 20µm(压电驱动器)
调节器	SM13游标测微头、压电驱动器
控制方式	开环
电压范围	0-75V
理论分辨率	20nm
双向重复性	200nm
给进量	10μm/分度，500μm/转
重量	828.0g

示意图

通用参数

☑产品描述

（1）精密驱动:

游标测微头调节器的Nano X3系列挠性位移台X、Y和Z行程都是4mm，最大负载1 kg。平台的标称高度是62.5mm。SM系列粗调游标刻度具有10µm分度，可以在系统中确定一个参考点，用于定位。

（2）压电选项:

NanoX3-MP位移台集成了开环压电驱动器，压电驱动器能够使位移台达到纳米分辨率。压电驱动器提供20µm行程,可以使用我们开环压电控制器控制。

（3）我们提供多种配件，用于安装显微物镜、准直器、波导、光纤以及很多其它器件。
光纤耦合应用:

3X-AM固定平台支架常用于搭建光纤发射系统，可以用搭载在上面的非球面透镜代替更长的显微镜物镜。
其表面是在挠性位移台附件安装大型或者多个组件的理想选择。
HCS1典型的夹具设计，可直接安装在Nano X系列的三轴位移台。沿着位移台顶部安装表面延伸的中心键槽设计能在保持系统对准的前提下，快速地重新配置已安装的光学元件和配件。

探针模拟:

除平板型顶部平台以外， Oeabt还提供90° 直角换向顶部平台3X-AM2，。使用此平台前，需先将原顶板拆卸后再进行安装，该平台可将光纤支架等附件安装至Nano X3平台的侧面；

V形槽光纤固定架将光纤对接耦合到小型波导器件中时，可夹持Ø150~Ø341µm的光纤，通过磁性压块固定。固定架的锥形顶板设计，更方便用户目测观察光纤波导界面。

（4）配件的简易对准:

标准三轴位移台顶板：两个宽3mm的中心槽口, 用于对准多轴位移台配件。包含16个M3螺孔，用于安装螺栓；4个M2螺孔、9个M4螺孔, 提供转接板用于在我们的Nano X3系列位移台上安装Oeabt各种其它的旋转和长行程线性位移台。平台顶部的两个中心槽方便快速地重配系统，同时维持配件的对准。正交图案允许变换位移台的右手和左手使用方向。

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Oeabt提供多种多轴位移台，可用于高精度光纤校准和耦合。多款位移台采用挠性技术，性能可靠且重复性高。

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